一口气发布数十款装备，新凯来火了
2025-03-27 13:28:03 星期四
格隆汇3月27日｜3月26日，SEMICON China 2025在上海开幕。在本次展会上，新凯来展区人头攒动。这是新凯来首次公开亮相，同时发布多款产品，覆盖半导体制造全流程。发布的产品，在工艺装备方面包括：扩散装备RTP（三清山）、EPI（峨眉山）；刻蚀产品ETCH（武夷山）；薄膜产品PVD（普陀山）、CVD（长白山）、ALD（阿里山）。在量检测装备方面包括：光学检测产品岳麓山BFI、丹霞山DFI、蓬莱山PC、莫干山MBI；光学量测产品天门山IBO、天门山DBO；PX量测产品沂蒙山AFM、赤壁山-XP XPS、赤壁山-XD XRD、赤壁山-XF XRF；功率检测产品RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。